微小電子機械システム。半導体集積回路（IC）の微細加工技術を基礎に、機械可動部を電子回路と融合させたマイクロサイズ（1000分の1ミリ）の微小電子機械部品。静電気や熱膨張、磁力などを動力源とする。1970年代にアメリカで芽生え、90年代には国防総省高等研究計画局（DARPA）の先端研究プロジェクトなどを通じて発達してきた。ヨーロッパではMST（micro system technology）、日本ではマイクロマシンとして研究開発が進められており、技術概念的に共通する。加速度センサー、光スイッチ、RF－MEMS（無線機器用高周波MEMS）、マイクロ燃料電池、ヘルスケアチップなどへの応用が有望視されている。さらに、100万分の1ミリのナノサイズに発展させたNEMS（nano electro mechanical systems）の研究も始まり、化学反応実験をチップ上で自動化するラボ・オン・チップ（laboratory on chip　マイクロ化学チップ）の構想も現れている。半導体産業と同様に、設計－試作－量産を受託するファウンドリーが台頭しており、市場の急成長が見込まれる。