鋭い探針を用いて原子、分子スケールの分解能で固体表面の三次元形状や物性値の分布を得る手法の総称。1982年に発表された探針と試料の間に流れるトンネル電流を制御する走査トンネル顕微鏡（STM scanning tunneling microscope）から発展して、原子間力に基づく原子間力顕微鏡（AFM atomic force microscope）や光を使った走査近接場光学顕微鏡（SNOM scanning near field optical microscope）、微小な磁気力を検出する磁気力顕微鏡（MFM magnetic field microscope）等、さまざまな応用技術が開発され、多種多様な物質表面の観察法として注目されている。またSPMに関連した技術を使った表面状態や物性の測定および超微細加工技術等への応用技術の進展も著しい。