従来の光学顕微鏡とは異なり、物質との相互作用によってその極近傍に局在する光であるエバネッセント光を利用した顕微鏡で、分解能はプローブ先端形状に依存するが、数nm（ナノメートル）のオーダーである。先端の鋭い光ファイバープローブを用いて物質表面に局在するエバネッセント光の強度、あるいはファイバープローブから発したエバネッセント光が試料に伝播したものを測定し、プローブの位置の関数として図示することで物質表面の光学像を得る。