多孔質シリコンなど数～数十nm（ナノメートル　nは10^-9＝10億分の1）の細孔が無数にあいた材料を多孔質材料（porous material）という。特殊な条件では、こうしたナノ細孔が自然に規則正しくそろう。陽極酸化により形成される一様な細孔が配列した多孔質アルミナ（porous alumina）などもある。新しいろ過膜などに応用されるほか、ナノ加工の鋳型としても期待されている。単独なナノスケールの孔をあける手法には、ナノワイヤを埋め込んだ構造からワイヤ部分のみを選択的に溶解するものや、化学反応により銀、白金粒子がドリルのように半導体基板に孔をあけるものが試みられ、らせん状の穴も形成できる。