¹⁴Cの減少（放射性壊変、半減期5730年）を利用して、生物起源の遺物についてその死後の時間を測定する。加速器質量分析法（AMS法：Accelerator Mass Spectrometry）を用いると微量の炭素（1mg以下）で測定することができる。年輪年代などによって、より正しい年代（較正年代）に補正して用い、得られた年代は、¹⁴C年代・炭素14年代と呼ぶ。6万年前頃まで測定できる。