半導体の微細加工技術を利用して作製した超小型機械で、電気回路と機械要素を一体化した微細なデバイス。マイクロマシン、略して「MEMS（メムス）」ということも多い。デバイスを小型化・集積化することで、低消費電力かつ、応答速度の速いデバイスを作ることができ、情報通信、自動車、家電、医療、航空宇宙、農業など幅広い産業分野で応用が期待される。圧力センサー、自動車搭載用の加速度センサー、排ガスをモニターするためのガスセンサー、機械式光学スイッチ、小さな鏡の傾きを制御することで明るい映像をスクリーンに投影するDMD（半導体型反射デバイス）などが実用化されている。