集積回路システムが極微細なデバイスを使用した巨大システムになるにつれ、集積回路の故障がシステム全体に致命的な問題を与えるようになってきた。そこで、信頼性の高い(dependable)システムを構築する技術開発が必須になった。すなわち、素子寸法の極限的な微細化にともなう物理的な揺らぎ、一過性雑音事象、使用にともなう劣化などを防止して、信頼性の高い集積回路システムを実現する試みをいう。たとえば、故障が起こっても自己修復する技術、故障を予告するシステム、故障が起こってもシステムが壊れない設計技術、ばらつきに対するロバスト設計技術などが検討されている。