電子ビームリソグラフィーなどで型を作製し、それを押し付けてパターンを転写するナノパターン作製法。パターンを転写する薄膜またはレジストを熱で軟化させて押し付ける熱ナノインプリント（thermal-nanoimprint）や紫外線硬化樹脂で転写する光ナノインプリント（photo-nanoimprint）がある。圧力による鋳型の損傷を防ぐため、溶剤に溶かした樹脂を流し込むものも研究中。広範囲にわたるナノ構造が一度に安価に作れる魅力があり、フォトニック結晶やモス・アイ・レンズなどへの応用が進められている。