MIS構造

時事用語事典

2009/02

工藤一浩

金属／絶縁体／半導体構造。MIS型電界効果トランジスタに用いられる構造で、半導体の表面状態を変化させるため、薄い絶縁膜を介して金属電極を付けた構造。特に、シリコンデバイスで絶縁体としてシリコン酸化物（SiO₂）を用いたものはMOS構造という。