エキシマレーザーリソグラフィー技術

現代人のカタカナ語辞典

信達郎

ジェームス・M.バーダマン

［excimer laser lithography technology］【I】エキシマレーザーを使って，LSI（大規模集積回路）のマスクパターンをシリコンウエハー上に露光転写すること．