スパッタリング

現代人のカタカナ語辞典

信達郎

ジェームス・M.バーダマン

［sputtering］(1)【I】【理】半導体の製造過程で用いられる真空技術の一つ．金属原子を飛ばして電子回路を作るための薄膜を形成する．光ディスクなどの製造にも使う．(2)飛び散った感じの模様．スパター柄．