極めて微小なロボット。マイクロマシンともいう。映画の『ミクロの決死圏』（1966年　Fantastic Voyage）のように人間の体内に入って治療をしたり、検査をしたりするロボットが、研究上は既に開発されている。将来はマイクロロボットが体内に常駐して、体調をチェックしてくれることが期待されている。大きさによってはナノロボットになる。