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工場全体を微細化する構想。ガラス基板などに流路やMEMS(→「マイクロマシン」)を組み込んだ集積化化学システムが検討されている。表面積の多さや、ナノ流体の特徴を生かすことで、小型でも高い生産量を維持する。省スペース、省エネルギーのほか、大量の危険物流出や大爆発のない安全性にも魅力がある。微量の化学薬品をインクジェットの機構を使い狙った場所に吹き付け、化学反応を局所的に起こすことも試みられている。
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