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放射化分析とも呼ぶ。資料にX線を照射すると、資料の中の各元素はそれぞれ固有X線(蛍光X線)を発する。この蛍光X線の波長と強さを測定して、資料に含まれる元素の種類と量を調べる。非破壊で分析できて応用範囲が広く、石材の産地推定ほかについて、いろいろの成果が得られている。
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