サブミクロン加工法

現代人のカタカナ語辞典

信達郎

ジェームス・M.バーダマン

［submicron processing］【I】集積度の大きい半導体集積回路の製造過程で必要となる，1ミクロン（1000分の1mm）以下の，サブミクロン単位の微細加工のこと．