リソグラフィー技術

時事用語事典

2014/03

和田恭雄

集積回路の設計パターンをレジストを介してウエハー上に実現する技術。レジストを露光するために、電子線、紫外線、X線等のエネルギー線を用い、それぞれ電子線リソグラフィー、光リソグラフィー、EUVリソグラフィーなどと呼ぶ。最近ではナノインプリントのような機械的な方法も開発されるようになっている。